洁净室的指示灯由红转绿的那一刻,整个实验室都静了。
陈敬言院士攥着测试报告的手都在抖,反复核对了三遍参数,才转过身,声音带着点沙哑:
“成了。国产光刻胶,90纳米工艺线,良品率28.3...
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